Влияние облучения кремния ионами Хе+ на повреждение его структуры, топографию и смачиваемость нанесенных на него Ti и Со покрытий
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.contributor.author | Туровец, А. И. | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.contributor.author | Ермаков, Ю. А. | |
| dc.contributor.author | Черныш, B. C. | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-16T14:06:34Z | |
| dc.date.available | 2018-03-16T14:06:34Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.description.abstract | Изучено влияние облучения кремния ионами Хе+ на повреждение его структуры, топографию и смачиваемость нанесенных на него Ti и Со покрытий. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31908 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | XL международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 25 мая – 27 мая 2010 г.;c. 177 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение Ti и Со покрытий | ru_RU |
| dc.subject | облучение ионами Хе+ | ru_RU |
| dc.subject | повреждение структуры | ru_RU |
| dc.subject | смачиваемость | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.title | Влияние облучения кремния ионами Хе+ на повреждение его структуры, топографию и смачиваемость нанесенных на него Ti и Со покрытий | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |