Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31610| Название: | Нанотвердость пленок и диффузия атомов Ti и Со в кремнии, модифицированном ионно-ассистированным осаждением покрытий в сочетании с облучением ионами Хе |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | БГПУ Si Ti Со Хе ионно-ассистированное осаждение покрытий нанотвердость диффузионные процессы облучение ионами |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издатель: | БГУ, Минск |
| Серия/номер: | Сборник научных трудов V Международной научной конференции «Материалы и структуры современной электроники». Минск, 10–11 октября 2012 г.;с. 54–56 |
| Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si при модифицировании осаждением Ti и Со покрытий в условиях ассистирования собственными ионами с энергией 7 кэВ, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными, а также изучения нанотвердости полученных структур. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31610 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-МССЭ-2012-54-МОМ.pdf | 730,77 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.