Нанотвердость пленок и диффузия атомов Ti и Со в кремнии, модифицированном ионно-ассистированным осаждением покрытий в сочетании с облучением ионами Хе

Abstract

Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si при модифицировании осаждением Ti и Со покрытий в условиях ассистирования собственными ионами с энергией 7 кэВ, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными, а также изучения нанотвердости полученных структур.