Нанотвердость пленок и диффузия атомов Ti и Со в кремнии, модифицированном ионно-ассистированным осаждением покрытий в сочетании с облучением ионами Хе
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-07T10:45:21Z | |
| dc.date.available | 2018-03-07T10:45:21Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si при модифицировании осаждением Ti и Со покрытий в условиях ассистирования собственными ионами с энергией 7 кэВ, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными, а также изучения нанотвердости полученных структур. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31610 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ, Минск | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Сборник научных трудов V Международной научной конференции «Материалы и структуры современной электроники». Минск, 10–11 октября 2012 г.;с. 54–56 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | Si | ru_RU |
| dc.subject | Ti | ru_RU |
| dc.subject | Со | ru_RU |
| dc.subject | Хе | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | нанотвердость | ru_RU |
| dc.subject | диффузионные процессы | ru_RU |
| dc.subject | облучение ионами | |
| dc.title | Нанотвердость пленок и диффузия атомов Ti и Со в кремнии, модифицированном ионно-ассистированным осаждением покрытий в сочетании с облучением ионами Хе | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |