Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31405| Название: | Дефектообразование в кремнии при нанесении металлопокрытий в условиях ионного ассистирования |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС) метод резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием (РОР/КИ) |
| Дата публикации: | 2008 |
| Издатель: | БГУ, Минск |
| Серия/номер: | Сборник научных трудов III Международной научной конференции «Материалы и структуры современной электроники». Минск, 25–26 сентября 2008 г.;с. 136–140 |
| Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры поверхности (100) Si, модифицированного ионно-ассистированным нанесением Ti, Со покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС), используя метод резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием (РОР/КИ). |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31405 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-МССЭ-2008-136-МОМ.pdf | 985,47 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.