Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31405Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-03T12:58:06Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-03T12:58:06Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31405 | - |
| dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры поверхности (100) Si, модифицированного ионно-ассистированным нанесением Ti, Со покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС), используя метод резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием (РОР/КИ). | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ, Минск | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Сборник научных трудов III Международной научной конференции «Материалы и структуры современной электроники». Минск, 25–26 сентября 2008 г.;с. 136–140 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС) | ru_RU |
| dc.subject | метод резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием (РОР/КИ) | ru_RU |
| dc.title | Дефектообразование в кремнии при нанесении металлопокрытий в условиях ионного ассистирования | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-МССЭ-2008-136-МОМ.pdf | 985,47 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.