Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31401| Название: | Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | БГПУ ионно-ассистированное нанесение тонких пленок кремний дефектообразование |
| Дата публикации: | 2007 |
| Серия/номер: | Международная научная конференция «Актуальные проблемы физики твердого тела», Минск, 23–26 октября 2007 г.;т. 3, с. 80–82 |
| Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31401 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-АПФТТ-2007-3-80-МОМ.pdf | 940,42 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.