Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС).
Description
Keywords
БГПУ, ионно-ассистированное нанесение тонких пленок, кремний, дефектообразование