Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-03T12:28:54Z | |
| dc.date.available | 2018-03-03T12:28:54Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31401 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Международная научная конференция «Актуальные проблемы физики твердого тела», Минск, 23–26 октября 2007 г.;т. 3, с. 80–82 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение тонких пленок | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | дефектообразование | ru_RU |
| dc.title | Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |