Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31089| Название: | Повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Co покрытий |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний покрытие Ti и Co ионно-ассистированное осаждение покрытий повреждение поверхности |
| Дата публикации: | 2008 |
| Серия/номер: | Физика и xимия обработки материалов;№ 5, с. 45–49 |
| Краткий осмотр (реферат): | Методом РОР/каналирования изучены структурные повреждения поверхности (100)Si при ионно-ассистированном осаждении покрытий на основе Ti и Co. В составе покрытия кроме основного металла обнаружены H, C, O и Si. Появление Si объясняется диффузией индуцированных облучением междоузельных атомов Si. Исследовано влияние энергии и дозы облучения ионами Xe+ на диффузионные процессы в кремнии. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31089 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 2-ФХОМ-2008-5-45-МОМ.pdf | 601,58 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.