Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31089Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.date.accessioned | 2018-02-23T07:36:53Z | - |
| dc.date.available | 2018-02-23T07:36:53Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31089 | - |
| dc.description.abstract | Методом РОР/каналирования изучены структурные повреждения поверхности (100)Si при ионно-ассистированном осаждении покрытий на основе Ti и Co. В составе покрытия кроме основного металла обнаружены H, C, O и Si. Появление Si объясняется диффузией индуцированных облучением междоузельных атомов Si. Исследовано влияние энергии и дозы облучения ионами Xe+ на диффузионные процессы в кремнии. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Физика и xимия обработки материалов;№ 5, с. 45–49 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | покрытие Ti и Co | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | повреждение поверхности | ru_RU |
| dc.title | Повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Co покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 2-ФХОМ-2008-5-45-МОМ.pdf | 601,58 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.