Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31085
Название: | Структура и повреждение кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок |
Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович Антонович, Игорь |
Ключевые слова: | БГПУ поверхность элементный состав повреждение структуры топография |
Дата публикации: | 2008 |
Серия/номер: | Przegląd elektrotechniczny;r. 84, nr 3, pp. 112–114 |
Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31085 |
Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
2-Przeglad elektrotecniczny-2008-84-3-МОМ.pdf | 722,28 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.