Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/31085
Название: Структура и повреждение кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок
Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович
Барайшук, Сергей Михайлович
Михалкович, Олег Михайлович
Антонович, Игорь
Ключевые слова: БГПУ
поверхность
элементный состав
повреждение структуры
топография
Дата публикации: 2008
Серия/номер: Przegląd elektrotechniczny;r. 84, nr 3, pp. 112–114
Краткий осмотр (реферат): Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/31085
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
2-Przeglad elektrotecniczny-2008-84-3-МОМ.pdf722,28 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.