Electromigration threshold of thin-film conductors
Loading...
Files
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Установлена связь между порогом электромиграции в тонкопленочных проводниках и механическими свойствами металлов. С помощью диаграммы механизмов деформации рассмотрены способы релаксации механических напряжений
Description
Keywords
электромиграция, тонкие пленки, массоперенос, механические напряжения, механизмы деформации