Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/2005
Название: Изучение Zr/Si – структур, полученных методом ионно-ассистируемого осаждения.
Авторы: Бобрович, Олег Георгиевич
Ташлыков, Игорь Серафимович
Тульев, В. В.
Ключевые слова: БГПУ
кремний
покрытия циркония
элементный состав
резерфордовское обратное рассеяние
резонансные ядерные реакции
Дата публикации: 2013
Издатель: Матер. 10-ой Междун. конф. “Взаимодействие излучений с твердым телом”. Минск, Беларусь, 24-27 сентября 2013 г. Минск. Изд. центр БГУ
Краткий осмотр (реферат): Исследованы методами резерфордовского обратного рассеяния, резонансной ядерной реакции, масс-спектрометрии вторичных ионов и компьютерным моделированием композиционный состав и распределения элементов по глубине в Zr/Si – структурах, полученных ионно-ассистируемым осаждением. Установлено, что сформированные покрытия содержат атомы циркония(4-6 ат. %, водорода (1-3 ат. %), углерода (60-70 ат. %), кислорода (25-35 ат. %) и кремния (6-8 ат. %). Приповерхностные слои образцов содержат карбиды SiC, ZrC и оксиды ZrO, SiO, углеводород CH, молекул C2 и преципитаты Zr, Si, C, O. Водород в покрытиях частично находится в химически несвязанном состоянии
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/2005
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
статья ВИТТ 2013.pdf660,46 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.