Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/2004
Название: Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Сu/Al структур
Авторы: Тульев, В. В.
Ташлыков, Игорь Серафимович
Литвинов, Д. А.
Ключевые слова: БГПУ
резерфордовское обратное рассеяние
осаждение медного покрытия
динамическое атомное перемешивание
Дата публикации: 2013
Издатель: Труды БГТУ.
Серия/номер: ;№6(162)
Краткий осмотр (реферат): Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием определено, что при осаждении медного покрытия на алюминий методом динамического атомного перемешивания, в котором в качестве ассистирующих ионов использовались ионы Ar+ c энергией 6 кэВ и интегральными потоками (0,7 – 1,6)х1016 ион/см2, формируется медная пленка толщиной порядка 10 – 15 нм. Установлено, что толщина сформированного покрытия зависит от параметра I/A (отношение числа I ассистирующих ионов к числу А атомов осаждаемого покрытия). При расчете толщины пленки необходимо учитывать помимо распыления ассистирующими ионами атомов покрытия, также распыление атомов подложки и атомов сопутствующих примесей.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/2004
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Труды БГТУ 2013.pdf625,63 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.