Композиционный состав и свойства поверхности систем Ме/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами

Abstract

В работе обсуждаются композиционный состав, повреждение структуры поверхности (100) Si, диффузионные процессы на межфазной границе в системах Ме/Si при модифицировании кремния методом осаждения покрытий Ti и Co (Ме) при ассистировании собственными ионами, топография поверхности полученных структур, ее смачиваемость водой, а также нанотвердость.