Композиционный состав и свойства поверхности систем Ме/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.date.accessioned | 2015-01-19T13:01:49Z | |
| dc.date.available | 2015-01-19T13:01:49Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.description.abstract | В работе обсуждаются композиционный состав, повреждение структуры поверхности (100) Si, диффузионные процессы на межфазной границе в системах Ме/Si при модифицировании кремния методом осаждения покрытий Ti и Co (Ме) при ассистировании собственными ионами, топография поверхности полученных структур, ее смачиваемость водой, а также нанотвердость. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/1893 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ, Минск | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Материалы 10-й Международной конференции “Взаимодействие излучений с твердым телом”. Минск, 24-27 сентября 2013 г. | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | титановые и кобальтовые покрытия | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая подложка | ru_RU |
| dc.subject | композиционный состав | ru_RU |
| dc.subject | топография | ru_RU |
| dc.subject | смачиваемость водой | ru_RU |
| dc.subject | нанотвердость | ru_RU |
| dc.title | Композиционный состав и свойства поверхности систем Ме/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |