Диффузионные процессы в кремнии, модифицированном осаждением Со покрытий в сочетании с облучением ионами Хе+
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А.Н. Севченко» БГУ, Минск
Abstract
Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si, модифицированном осаждением Co покрытий в условиях ассистирования собственными ионами, когда образцы кремния предварительно облучались ионами ксенона.
Description
Keywords
БГПУ, кремний, пленки кобальта, облучение ионами ксенона