Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/1884| Название: | Диффузионные процессы в кремнии, модифицированном осаждением Со покрытий в сочетании с облучением ионами Хе+ |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний пленки кобальта облучение ионами ксенона |
| Дата публикации: | 2013 |
| Издатель: | НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А.Н. Севченко» БГУ, Минск |
| Серия/номер: | Материалы Международной научно-практической конференции «Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния». Минск, 27-28 февраля 2013 г. C. 228-230 |
| Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si, модифицированном осаждением Co покрытий в условиях ассистирования собственными ионами, когда образцы кремния предварительно облучались ионами ксенона. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/1884 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| НИИПФП(2).pdf | 514,66 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.