Диффузионные процессы в кремнии, модифицированном осаждением Со покрытий в сочетании с облучением ионами Хе+
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.date.accessioned | 2015-01-19T12:17:27Z | |
| dc.date.available | 2015-01-19T12:17:27Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si, модифицированном осаждением Co покрытий в условиях ассистирования собственными ионами, когда образцы кремния предварительно облучались ионами ксенона. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/1884 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А.Н. Севченко» БГУ, Минск | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Материалы Международной научно-практической конференции «Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния». Минск, 27-28 февраля 2013 г. C. 228-230 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | пленки кобальта | ru_RU |
| dc.subject | облучение ионами ксенона | ru_RU |
| dc.title | Диффузионные процессы в кремнии, модифицированном осаждением Со покрытий в сочетании с облучением ионами Хе+ | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |