Ионное перемешивание бикомпонентных слоев на основе никеля

Abstract

В рамках представлений о процессах в каскадах столкновений обсуждаются механизмы перемешивания атомов никеля с атомами платины, серебра, титана при облучении ионами аргона с энергией от 10 до 90 кэВ потоком от 10^15 до 3*10^16 см^(–2). Установлено, что особенностью атомного перемешивания титана с никелем является дополнительное к механизмам каскадного перемешивания включение механизма радиационно-стимулированной перестройки фазового состава с образованием химических соединений.