Структура тонких пленок Ba0,7Sr0,3TiO3, нанесенных на кремниевые подложки методом импульсного лазерного напыления
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
ООО «Интерконтакт Наука»
Abstract
Методом импульсного лазерного испарения с использованием Nd:YAG лазера, работающего в режиме свободной генерации, получены сегнетоэлектрические тонкие пленки Ba0,7Sr0,3TiO3 на кремниевых подложках при температурах 200 и 450 °C. Исследовано влияние температуры подложки и времени напыления на структуру, фазовый состав и топографию поверхности пленок.
Description
Keywords
БГПУ, кремний, метод импульсного лазерного напыления, тонкие пленки