Структура тонких пленок Ba0,7Sr0,3TiO3, нанесенных на кремниевые подложки методом импульсного лазерного напыления

dc.contributor.authorРоманюк, В. Л.
dc.contributor.authorГременок, В. Ф.
dc.contributor.authorМеркулов, В. С.
dc.contributor.authorСоболь, Валерий Романович
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович
dc.date.accessioned2016-04-14T10:51:57Z
dc.date.available2016-04-14T10:51:57Z
dc.date.issued2009
dc.description.abstractМетодом импульсного лазерного испарения с использованием Nd:YAG лазера, работающего в режиме свободной генерации, получены сегнетоэлектрические тонкие пленки Ba0,7Sr0,3TiO3 на кремниевых подложках при температурах 200 и 450 °C. Исследовано влияние температуры подложки и времени напыления на структуру, фазовый состав и топографию поверхности пленок.ru_RU
dc.identifier.urihttp://elib.bspu.by/handle/doc/11930
dc.language.isootherru_RU
dc.publisherООО «Интерконтакт Наука»ru_RU
dc.relation.ispartofseriesФизика и химия обработки материалов;№ 5, с. 37–40
dc.subjectБГПУru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectметод импульсного лазерного напыленияru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.titleСтруктура тонких пленок Ba0,7Sr0,3TiO3, нанесенных на кремниевые подложки методом импульсного лазерного напыленияru_RU
dc.typeArticleru_RU

Files

Original bundle

Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
5-ФиХОМ-2009-5(1).pdf
Size:
878.48 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Loading...
Thumbnail Image
Name:
5-ФиХОМ-2009-5(2).pdf
Size:
1.47 MB
Format:
Adobe Portable Document Format

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Loading...
Thumbnail Image
Name:
license.txt
Size:
105 B
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: