Структура тонких пленок Ba0,7Sr0,3TiO3, нанесенных на кремниевые подложки методом импульсного лазерного напыления
| dc.contributor.author | Романюк, В. Л. | |
| dc.contributor.author | Гременок, В. Ф. | |
| dc.contributor.author | Меркулов, В. С. | |
| dc.contributor.author | Соболь, Валерий Романович | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.date.accessioned | 2016-04-14T10:51:57Z | |
| dc.date.available | 2016-04-14T10:51:57Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.description.abstract | Методом импульсного лазерного испарения с использованием Nd:YAG лазера, работающего в режиме свободной генерации, получены сегнетоэлектрические тонкие пленки Ba0,7Sr0,3TiO3 на кремниевых подложках при температурах 200 и 450 °C. Исследовано влияние температуры подложки и времени напыления на структуру, фазовый состав и топографию поверхности пленок. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/11930 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | ООО «Интерконтакт Наука» | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Физика и химия обработки материалов;№ 5, с. 37–40 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | метод импульсного лазерного напыления | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.title | Структура тонких пленок Ba0,7Sr0,3TiO3, нанесенных на кремниевые подложки методом импульсного лазерного напыления | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
Files
License bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- license.txt
- Size:
- 105 B
- Format:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Description: