Топография и шероховатость поверхности кремния, модифицированного нанесением покрытий

Abstract

Изучена топография системы покрытие/кремний, сформированной ионно-ассистированным осаждением покрытия на кремний, а также влияние нанесения покрытий на шероховатость поверхности. Сделан вывод о том, что на топографию поверхности влияет не только материал нанесенного покрытия, но и режим, при котором проводилось осаждение. Замечено, что нанесение всех исследованных покрытий приводит к увеличению шероховатости поверхности по сравнению с исходным кремнием.