Топография и шероховатость поверхности кремния, модифицированного нанесением покрытий
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.date.accessioned | 2016-03-04T10:54:17Z | |
| dc.date.available | 2016-03-04T10:54:17Z | |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.description.abstract | Изучена топография системы покрытие/кремний, сформированной ионно-ассистированным осаждением покрытия на кремний, а также влияние нанесения покрытий на шероховатость поверхности. Сделан вывод о том, что на топографию поверхности влияет не только материал нанесенного покрытия, но и режим, при котором проводилось осаждение. Замечено, что нанесение всех исследованных покрытий приводит к увеличению шероховатости поверхности по сравнению с исходным кремнием. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/10807 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Сборник тезисов докладов X Республиканской научной конференции студентов и аспирантов высших учебных заведений РБ "НИРС-2005". 14–16 февраля 2006 г., Минск ;с. 211 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.title | Топография и шероховатость поверхности кремния, модифицированного нанесением покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |