Просмотр собрания по группе - Темы тонкая пленка
Отображение результатов 1 до 3 из 3
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
1999 | Взаимопроникновение элементов подложки и тонкой пленки, осаждаемой в условиях ионного ассистирования | Ташлыков, Игорь Серафимович; Бобрович, Олег Георгиевич; Вишняков, В. М.; Картер, Дж. |
2004 | Ионно-ассистируемое осаждение тонких пленок на основе С, Ti, Zr, Мо на кремний | Ташлыков, Игорь Серафимович; Веш, В.; Вендлер, Э. |
2002 | Структура и состав покрытий на основе Zr, осажденных на кремний при ионном ассистировании в условиях саморадиации | Бобрович, Олег Георгиевич; Ташлыков, Игорь Серафимович |