Просмотр собрания по группе - Темы облучение ионами Хе+
Отображение результатов 1 до 3 из 3
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
2009 | Влияние дозы ускоренных ионов Хе+ на повреждение кремния при ионно-ассистированном нанесении Ti покрытий | Ташлыков, Игорь Серафимович; Михалкович, Олег Михайлович; Антонович, И. П.; Туровец, А. И.; Ермаков, Ю. А.; Черныш, B. C. |
2010 | Влияние облучения ионами Хе+ на диффузионные процессы в кремнии при ионно-ассистированном осаждении покрытий | Михалкович, Олег Михайлович; Ташлыков, Игорь Серафимович |
2010 | Влияние облучения кремния ионами Хе+ на повреждение его структуры, топографию и смачиваемость нанесенных на него Ti и Со покрытий | Михалкович, Олег Михайлович; Туровец, А. И.; Ташлыков, Игорь Серафимович; Ермаков, Ю. А.; Черныш, B. C. |