Структура и свойства системы титановое покрытие – кремний, полученной осаждением титана на кремний в условиях облучения собственными ионами

Abstract

Осаждение тонких пленок на кремниевые пластины представляет как научный, так и практический интерес. Оно позволяет формировать изолирующие или проводящие слои, лиофильные или лиофобные в разных средах поверхности изделий. Чтобы исключить введение в приповерхностный слой атомов благородных газов, желательно применять для радиационного ассистирования ионы атомов осаждаемого покрытия. Для управления свойствами покрытий при осаждении покрытий необходимо изучать композиционный состав систем покрытие/подложка, их морфологию и структуру. Поэтому в настоящем исследовании изучались элементный состав системы покрытие/кремний, сформированной ионно-ассистированным осаждением покрытия на кремний, глубинное распределение дефектов и топография поверхности полученной структуры.