Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/7446
Название: Структура и свойства системы титановое покрытие – кремний, полученной осаждением титана на кремний в условиях облучения собственными ионами
Авторы: Михалкович, Олег Михайлович
Барайшук, Сергей Михайлович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ключевые слова: БГПУ
титановые пленки
кремниевая подложка
ионное ассистирование
элементный состав
топография
Дата публикации: 2012
Издатель: Сб. докл. Х Междун. конф. «Методические аспекты сканирующей зондовой микроскопии». Минск
Серия/номер: ;С. 149-155
Краткий осмотр (реферат): Осаждение тонких плёнок на кремниевые пластины представляет как научный так и практический интерес. Оно позволяет формировать изолирующие или проводящие слои, лиофильные или лиофобные в разных средах поверхности изделий. Чтобы исключить введение в приповерхностный слой атомов благородных газов, желательно применять для радиационного ассистирования ионы атомов осаждаемого покрытия. Для управления свойствами покрытий при осаждении покрытий необходимо изучать композиционный состав систем покрытие/подложка, их морфологию и структуру. Поэтому в настоящем исследовании изучались элементный состав системы покрытие/кремний, сформированной ионно-ассистированным осаждением покрытия на кремний, глубинное распределение дефектов и топография поверхности полученной структуры.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/7446
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
СЗМ2012.pdf745,6 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.