Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/9235Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Белый, И. М. | - |
| dc.contributor.author | Гуманский, Г. А. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Тишков, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Гетц, Г. | - |
| dc.contributor.author | Хель, К. | - |
| dc.contributor.author | Швабе, Ф. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-01-21T13:44:42Z | - |
| dc.date.available | 2016-01-21T13:44:42Z | - |
| dc.date.issued | 1975 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/9235 | - |
| dc.description.abstract | Изучены вопросы влияния условий легирования на синтез карбида кремния, количественного состава имплантированных слоев, их размеров и некоторые другие. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | International conference on ion implantation in semiconductors. 1975, Budapest;pp. 462–471 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ион углерода | ru_RU |
| dc.subject | ионная имплантация | ru_RU |
| dc.subject | легирование | ru_RU |
| dc.title | Исследование слоев кремния, имплантированных стехиометрическими дозами ионов углерода | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 6-32-Konf-Budapest-1975(462-471).pdf | 822,67 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.