Применение метода резонансных ядерных реакций для изучения пространственного распределения алюминия, имплантированного в арсенид галлия

Abstract

В исследовании предпринята попытка с применением ядерной реакции 27Al (р, γ) 28Si, имеющей ширину резонанса 100 эВ при энергии протонов 991,9 кэВ, определить профили распределения алюминия, имплантированного в арсенид галлия. Работа позволила установить характер распределения алюминия, имплантированного в GaAs, выяснить влияние температуры имплантации на профили алюминия, уточнить интерпретацию ранее полученных результатов.