Анализ поверхности твердых тел с применением пучков ускоренных ионов

Abstract

В работе рассмотрены возможности получения из энергетических спектров частиц, обратно рассеянных от мишеней, информации о структуре и качестве мишени, ее элементном составе. Исследования выполнены с использованием ионов водорода и гелия в области энергий от нескольких сот кэВ до 2–2,5 МэВ. Это позволяет изучить приповерхностные слои толщиной от нескольких ангстрем до нескольких микрон.