Состав и распределение компонентов по глубине в Fe – Pd структурах, сформированных методом ионного перемешивания

Abstract

Состав и распределение компонентов по глубине Fe – Pd структур, полученных ионным перемешиванием при бомбардировке исходных структур ионами Ar, Kr, Хе с энергиями 20, 30 кэВ дозами от 2·10^15 до 3·10^16 см^(-2), изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия с применением компьютерного моделирования. Установлено, что при атомном перемешивании Fe – Pd структур, помимо процесса перемешивания в каскаде атомных столкновений, происходят процессы радиационно-стимулированной диффузии и распыления поверхности. Определены наиболее оптимальные режимы атомного перемешивания Fe – Pd структуры.