Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/7446
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.date.accessioned2015-11-12T12:57:19Z-
dc.date.available2015-11-12T12:57:19Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.urihttp://elib.bspu.by/handle/doc/7446-
dc.description.abstractОсаждение тонких пленок на кремниевые пластины представляет как научный, так и практический интерес. Оно позволяет формировать изолирующие или проводящие слои, лиофильные или лиофобные в разных средах поверхности изделий. Чтобы исключить введение в приповерхностный слой атомов благородных газов, желательно применять для радиационного ассистирования ионы атомов осаждаемого покрытия. Для управления свойствами покрытий при осаждении покрытий необходимо изучать композиционный состав систем покрытие/подложка, их морфологию и структуру. Поэтому в настоящем исследовании изучались элементный состав системы покрытие/кремний, сформированной ионно-ассистированным осаждением покрытия на кремний, глубинное распределение дефектов и топография поверхности полученной структуры.ru_RU
dc.language.isootherru_RU
dc.relation.ispartofseriesСборник докладов Х Международной конференции «Методические аспекты сканирующей зондовой микроскопии». Минск;с. 149-155-
dc.subjectБГПУru_RU
dc.subjectтитановые пленкиru_RU
dc.subjectкремниевая подложкаru_RU
dc.subjectионное ассистированиеru_RU
dc.subjectэлементный составru_RU
dc.subjectтопографияru_RU
dc.titleСтруктура и свойства системы титановое покрытие – кремний, полученной осаждением титана на кремний в условиях облучения собственными ионамиru_RU
dc.typeArticleru_RU
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
СЗМ2012.pdf745,6 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.