Морфология и смачиваемость поверхности системы Мо/стеклянная подложка, формируемой методом SIAD

Abstract

Обсуждаются предварительные результаты изучения Мо-пленок, осажденных на стеклянную подложку в условиях ассистирования собственными ионами. Наблюдаются первоначальные этапы формирования тонкой пленки тыльного контакта на стекле. Установлено значение порогового интегрального потока ионов Мо, превышение которого ведет к снижению степени шероховатости поверхности.