Изучение поверхности структур металл / кремний, приготовленных ионно-ассистированным нанесением покрытий

Abstract

Обсуждаются элементный состав, механические свойства и топография поверхности структур металл/кремний, сформированных ионно-ассистированным нанесением Ti, Со, Zr и Mo покрытий при ускоряющей разности потенциалов 3 кВ, интегральном потоке ассистирующих ионов 2·10^16 см^(–2) и плотности ионного тока ~ 0,26 мкА/см^2. Давление в мишенной камере составляло ~10^(–2) Па. Элементный состав поверхности структур изучали методом POP ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием RUMP, механические свойства – методом наноиндентирования, топографию поверхности – с применением сканирующей атомно-силовой микроскопии.