Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/32356
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТульев, Валентин Валентинович-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorУляшко, П. В.-
dc.date.accessioned2018-03-30T12:15:29Z-
dc.date.available2018-03-30T12:15:29Z-
dc.date.issued2006-
dc.identifier.urihttp://elib.bspu.by/handle/doc/32356-
dc.description.abstractThe article is devoted to investigation of mechanical properties of silicon surface modified by means of self ion assisted deposition of C, Ti, Mo coatings. The nanoindentation data from coated systems were used for calculation of the hardness and elastic modulus. Atomic Force Microscopy surface observations were used to investigate the topography of modified surfaces.ru_RU
dc.language.isootherru_RU
dc.publisherБГТУ, Минскru_RU
dc.relation.ispartofseriesТруды Белорусского государственного технологического университета. Сер. VI. Физико-математические науки и информатика;вып. XIV., с. 85–87-
dc.subjectБГПУru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectионно-ассистированное нанесение покрытийru_RU
dc.subjectмеханические свойстваru_RU
dc.subjectтопография поверхностиru_RU
dc.titleМеханические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытийru_RU
dc.typeArticleru_RU
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-Труды БГТУ-2006-14-85-БСМ.pdf675,96 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.