Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | |
| dc.contributor.author | Уляшко, П. В. | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-30T12:15:29Z | |
| dc.date.available | 2018-03-30T12:15:29Z | |
| dc.date.issued | 2006 | |
| dc.description.abstract | The article is devoted to investigation of mechanical properties of silicon surface modified by means of self ion assisted deposition of C, Ti, Mo coatings. The nanoindentation data from coated systems were used for calculation of the hardness and elastic modulus. Atomic Force Microscopy surface observations were used to investigate the topography of modified surfaces. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/32356 | |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | БГТУ, Минск | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Труды Белорусского государственного технологического университета. Сер. VI. Физико-математические науки и информатика;вып. XIV., с. 85–87 | |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | механические свойства | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.title | Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |