Массоперенос в кремнии элементов Со покрытия, нанесенного при ассистировании собственными ионами

Abstract

Изучен процесс массопереноса в кремнии элементов Со покрытия, нанесенного при ассистировании собственными ионами.

Description

Keywords

БГПУ, кремний, ионно-ассистированное нанесение Со покрытия методом ОПАСИ, массоперенос

Citation

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By