Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31906Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-16T13:51:13Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-16T13:51:13Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31906 | - |
| dc.description.abstract | Изучено образование дефектов поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Со покрытий. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | XXXVIII международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва, 27 мая – 29 мая 2008 г.;c. 146 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение Ti и Со покрытий | ru_RU |
| dc.title | Повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном осаждении Ti и Со покрытий | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-ФВЗЧК-2008-146-МОМ.pdf | 410,86 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.