1. Репозиторий БГПУ
  2. ФАКУЛЬТЕТЫ. ИНСТИТУТЫ
  3. Физико-математический факультет
  4. Научные публикации физико-математического факультета
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/31610
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.date.accessioned2018-03-07T10:45:21Z-
dc.date.available2018-03-07T10:45:21Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.urihttp://elib.bspu.by/handle/doc/31610-
dc.description.abstractОбсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si при модифицировании осаждением Ti и Со покрытий в условиях ассистирования собственными ионами с энергией 7 кэВ, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными, а также изучения нанотвердости полученных структур.ru_RU
dc.language.isootherru_RU
dc.publisherБГУ, Минскru_RU
dc.relation.ispartofseriesСборник научных трудов V Международной научной конференции «Материалы и структуры современной электроники». Минск, 10–11 октября 2012 г.;с. 54–56-
dc.subjectБГПУru_RU
dc.subjectSiru_RU
dc.subjectTiru_RU
dc.subjectСоru_RU
dc.subjectХеru_RU
dc.subjectионно-ассистированное осаждение покрытийru_RU
dc.subjectнанотвердостьru_RU
dc.subjectдиффузионные процессыru_RU
dc.subjectоблучение ионами-
dc.titleНанотвердость пленок и диффузия атомов Ti и Со в кремнии, модифицированном ионно-ассистированным осаждением покрытий в сочетании с облучением ионами Хеru_RU
dc.typeArticleru_RU
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
3-МССЭ-2012-54-МОМ.pdf730,77 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.