Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31609Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-07T10:35:52Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-07T10:35:52Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31609 | - |
| dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si, модифицированном ионно-ассистированным нанесением Ti, Со покрытий в условиях предварительного облучения ионами ксенона и необлученного. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ, Минск | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Сборник научных трудов IV Международной научной конференции «Материалы и структуры современной электроники». Минск, 23–24 сентября 2010 г.;с. 175–178 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение покрытий | ru_RU |
| dc.subject | облучение ионами Хе+ | ru_RU |
| dc.subject | диффузионные процессы при нанесении покрытий | ru_RU |
| dc.title | Влияние облучения ионами Хе+ на диффузионные процессы в кремнии при ионно-ассистированном осаждении покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-МССЭ-2010-175-МОМ.pdf | 797,03 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.