Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31404Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-03T12:53:22Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-03T12:53:22Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/31404 | - |
| dc.description.abstract | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ, Минск | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Сборник научных трудов II Международной научной конференции «Материалы и структуры современной электроники». Минск, 5–6 октября 2006 г.;с. 20–25 | - |
| dc.subject | БГПУ | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения | ru_RU |
| dc.subject | композиционный состав | ru_RU |
| dc.subject | повреждение структуры | ru_RU |
| dc.subject | топография поверхности | ru_RU |
| dc.title | Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-МССЭ-2006-20-МОМ.pdf | 1,11 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.