Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/31404| Название: | Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | БГПУ кремний тонкие пленки ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения композиционный состав повреждение структуры топография поверхности |
| Дата публикации: | 2006 |
| Издатель: | БГУ, Минск |
| Серия/номер: | Сборник научных трудов II Международной научной конференции «Материалы и структуры современной электроники». Минск, 5–6 октября 2006 г.;с. 20–25 |
| Краткий осмотр (реферат): | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/31404 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 3-МССЭ-2006-20-МОМ.pdf | 1,11 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.