Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
БГУ, Минск
Abstract
Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС).
Description
Keywords
БГПУ, кремний, тонкие пленки, ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения, композиционный состав, повреждение структуры, топография поверхности