Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/31088
Название: Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович
Бобрович, Олег Георгиевич
Барайшук, Сергей Михайлович
Михалкович, Олег Михайлович
Антонович, И. П.
Ключевые слова: БГПУ
кремний
ионно-ассистированное нанесение покрытий
тонкие пленки
Дата публикации: 2009
Серия/номер: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования;№ 5, с. 92–95
Краткий осмотр (реферат): Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов в сочетании с каналированием изучены состав и структура поверхности Si(100), модифицированной ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. Установлено, что в состав покрытия входят атомы металла, водорода, углерода, кислорода, кремния. Межузельные атомы Si, генерируемые радиационным воздействием, диффундируют при нанесении металлсодержащего покрытия как вглубь кристалла, так и в покрытие. Обнаружено влияние величины энергии и интегрального потока ионов Хе+ на диффузионные процессы в кремнии.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/31088
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
2-Поверхность___-2009-5-92-МОМ.pdf453,29 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.