Свойства поверхности системы Мо/подложка, формируемой при ионном ассистировании

Abstract

В работе представлены результаты исследования свойств поверхности системы тонкая пленка Мо/стеклянная подложка, формируемой методом осаждения пленки, ассистированного собственными ионами (ОПАСИ). Установлены корреляции между значениями шероховатости и смачиваемостью ее дистиллированной водой. Показано, что нанесение Мо пленки снижает гидрофильность поверхности изучаемой системы.