Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/1889
Название: Элементный состав и свойства поверхности тонких пленок металлов, нанесенных на подложки кремния.
Авторы: Барайшук, Сергей Михайлович
Михалкович, Олег Михайлович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ключевые слова: БГПУ
кремний
тонкие металлические пленки
нанотвердость
элементный состав
топография
Дата публикации: 2013
Издатель: Сб. научных статей Междунар. научно-практич. конф. «Актуальные проблемы естественных наук и их преподавания» Могилев, 20-22 февраля 2013 г..Могилев: МГУ им. А.А.Кулешова
Краткий осмотр (реферат): In this paper a composite structure, topography and nanohardness of a surface (100) Si modified by means of ion-assisted deposition of coatings in conditions of a self-irradiation are discussed. Rutherford backscattering (RBS) of He+ ions and computer program RUMP were applied to investigate an composition of surface. It is established, that coating includes atoms of metal, hydrogen, carbon, oxygen, silicon. The nanoindentation data from coated systems were used for calculation of the hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments. Atomic Force Microscopy (AFM) surface observations were used to investigate the topography of modified surfaces.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/1889
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Ташл(7).pdf627,44 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.