Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/15947Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Кирюшин, Игорь Владимирович | - |
| dc.date.accessioned | 2016-10-22T15:07:23Z | - |
| dc.date.available | 2016-10-22T15:07:23Z | - |
| dc.date.issued | 1989 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bspu.by/handle/doc/15947 | - |
| dc.description.abstract | В связи с этим целью диссертационной работы является исследование механических напряжений и их релаксации в полупроводниковых структурах с тонкими пленками широкого класса материалов, используемых в микроэлектронике, в том числе при токе высокой плотности, и разработка рекомендаций по практическому использованию полученных результатов. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | АН БССР | ru_RU |
| dc.subject | автореферат | ru_RU |
| dc.subject | ДМД конденсатов | ru_RU |
| dc.subject | электромиграция | ru_RU |
| dc.subject | многослойные структуры | ru_RU |
| dc.title | МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ И ИХ РЕЛАКСАЦИЯ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Кирюшин И.В..pdf | 618,52 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.