МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ И ИХ РЕЛАКСАЦИЯ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ
Loading...
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
АН БССР
Abstract
В связи с этим целью диссертационной работы является исследование механических напряжений и их релаксации в полупроводниковых структурах с тонкими пленками широкого класса материалов, используемых в микроэлектронике, в том числе при токе высокой плотности, и разработка рекомендаций по практическому использованию полученных результатов.
Description
Keywords
автореферат, ДМД конденсатов, электромиграция, многослойные структуры