Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elib.bspu.by/handle/doc/15947| Название: | МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ И ИХ РЕЛАКСАЦИЯ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ |
| Авторы: | Кирюшин, И. В. |
| Ключевые слова: | автореферат ДМД конденсатов электромиграция многослойные структуры |
| Дата публикации: | 1989 |
| Издатель: | АН БССР |
| Краткий осмотр (реферат): | В связи с этим целью диссертационной работы является исследование механических напряжений и их релаксации в полупроводниковых структурах с тонкими пленками широкого класса материалов, используемых в микроэлектронике, в том числе при токе высокой плотности, и разработка рекомендаций по практическому использованию полученных результатов. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.bspu.by/handle/doc/15947 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации физико-математического факультета |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Кирюшин И.В..pdf | 618,52 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.