Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/15947
Название: МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ И ИХ РЕЛАКСАЦИЯ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ
Авторы: Кирюшин, И.В.
Ключевые слова: автореферат
ДМД конденсатов
электромиграция
многослойные структуры
Дата публикации: 1989
Издатель: АН БССР
Краткий осмотр (реферат): В связи с этим целью диссертационной работы является исследование механических напряжений и их релаксации в полупроводниковых структурах с тонкими пленками широкого класса материалов, используемых в микроэлектронике, в том числе при токе высокой плотности, и разработка рекомендаций по практическому использованию полученных результатов.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/15947
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Кирюшин И.В..pdf618,52 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.