Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/10806
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.date.accessioned2016-03-04T10:37:38Z-
dc.date.available2016-03-04T10:37:38Z-
dc.date.issued2005-
dc.identifier.urihttp://elib.bspu.by/handle/doc/10806-
dc.description.abstractИзучены дефектообразование в подложке и построение профилей радиационных дефектов в кремниевой подложке по глубине. Объектом исследования являлась структура покрытие – подложка, сформированная методом ИАНПУС, а предметом исследования – дефектообразование в подложке, т. е. распределение дефектов по глубине. Для исследования использовался метод резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием ионов гелия, а также методика введения маркера Хе для определения реальной границы раздела фаз покрытие – подложка.ru_RU
dc.language.isootherru_RU
dc.relation.ispartofseriesСборник тезисов докладов X Республиканской научной конференции студентов и аспирантов высших учебных заведений РБ "НИРС-2005". 14–16 февраля 2006 г., Минск;с. 210-
dc.subjectБГПУru_RU
dc.subjectионно-ассистированное нанесение покрытийru_RU
dc.subjectдефектообразованиеru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectтитанru_RU
dc.titleРадиационные дефекты структуры кремния при ионно-ассистированном нанесении покрытий на основе титанаru_RU
dc.typeWorking Paperru_RU
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
НИРС-2005_ТИС-1.pdf559,21 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.