Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elib.bspu.by/handle/doc/10806
Название: Радиационные дефекты структуры кремния при ионно-ассистированном нанесении покрытий на основе титана
Авторы: Михалкович, Олег Михайлович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Ключевые слова: БГПУ
ионно-ассистированное нанесение покрытий
дефектообразование
кремний
титан
Дата публикации: 2005
Издатель: Сборник тезисов докладов X Республиканской научной конференции студентов и аспирантов высших учебных заведений РБ. 14–16 февраля 2006 г. г. Минск
Серия/номер: НИРС-2005;с. 210
Краткий осмотр (реферат): Целью данного исследования является изучение дефектообразования в подложке и построение профилей радиационных дефектов в кремниевой подложке по глубине. Объектом исследования являлась структура покрытие – подложка, сформированная методом ИАНПУС, а предметом исследования – дефектообразование в подложке, т.е. распределение дефектов по глубине. Для исследования использовался метод резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием ионов гелия, а также методика введения маркера Хе для определения реальной границы раздела фаз покрытие – подложка.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.bspu.by/handle/doc/10806
Располагается в коллекциях:Научные публикации физико-математического факультета

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
НИРС-2005_ТИС-1.pdf559,21 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.